利用内耗技术研究了TiSiN系列纳米复合超硬薄膜的结构弛豫和硬化机理.当共振频率大约在100 Hz时在230～280 ℃范围内观察到一个弛豫......

利用内耗技术研究了TiSiN系列纳米复合超硬薄膜的结构弛豫和硬化机理.当共振频率大约在100Hz时在230～280℃范围内观察到一个弛豫型......

在纯Ti表面磁控溅射镀制不同Si含量的TiSiN膜后，比较与Solidex的结合强度并对界面进行分析。试验采用3组纯Ti试件，一组表面不作处理，......

研究了用PCVD法所制备的TiN，TiAlN和TiSiN硬质涂层的抗高温氧化性能及TiN涂层在双氧水介质中的抗氧化性能。结果表明，TiAlN，TiSiN涂层......

TiN涂层具有良好的耐磨损和耐腐蚀性能，是目前广泛使用的刀具涂层之一。然而TiN涂层硬度低、抗高温氧化性能差，在TiN涂层中掺入Si形......